金融界2024年11月4日消息，国家知识产权局信息显示，迈为技术（珠海）有限公司申请一项名为“调平压合设备校准方法、装置、调平压合设备及存储介质”的专利，公开号CN 118888505 A，申请日期为2024年10月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种调平压合设备校准方法、装置、调平压合设备及存储介质，本发明通过在上玻璃基板的上表面四周均匀间隔开地设置有四个电机，在进入调平流程后则禁用其中一个电机，并根据上玻璃基板的中心点与尚未禁用的三个电机之间的距离，以及上玻璃基板所吸附的第一晶圆的下表面与下玻璃基板所吸附的第二晶圆的上表面之间的夹角，确定出尚未禁用的电机需要驱动上玻璃基板移动的目标距离，并根据目标距离控制电机驱动上玻璃基板移动，以完成上玻璃基板和下玻璃基板的调平。本发明可以自适应进行上玻璃基板和下玻璃基板的调平，且通过四点调平机构在提高了调平精度的同时，也提高调平过程中的稳定性以及适应性。